廢氣處理系統配置 8 座噴淋塔，1 個廢液儲存罐。
當滅菌柜清洗時，啟動廢氣處理系統，排出的 EO 氣體經氣水分離后，接入一級噴淋塔，EO 氣體與自動配置好的酸液充分接觸，發生化學反應，EO 氣體被吸收。經一級噴淋塔吸收后的殘余 EO 氣體進入二級噴淋塔，進行再吸收，以此類推最終進入第八級噴淋塔。共經過八級噴淋吸收的殘氣再經活性碳過濾裝置，由排風系統進入大氣。
當噴淋塔的生成物乙二醇接近飽和，液體抽入儲存罐暫存，最終由專業公司回收處置。
人體健康損害。工業廢氣對人體健康的損害包括急性和緩慢兩個方面。急性損害通常發生在工業區和附近地區。緩慢損害是指大氣污染物對人體健康造成的直接或間接的長時間損害。這種損害的短期體現不明顯，也不容易發現。假如沒有工業廢氣污染管理設備，這種情況會越來越嚴重。
